Τα πεπερασμένα αυτόματα ορίζονται από την πεντάδα Μ = (Κ, Σ, δ, S, F):
Αν η συνάρτηση δ είναι μονότιμη τότε το αυτόματο αυτόματο καλείται ντετερμινιστικό πεπερασμένο αυτόματο (ΝΠΑ) (deterministic finite automaton (DFA)). Αντίθετα, αν για κάποιες τιμές (Χ, σ) της δ υπάρχουν πολλές πιθανές νέες καταστάσεις X' τότε το αυτόματο καλείται μη ντετερμινιστικό πεπερασμένο αυτόματο (ΜΠΑ) (non-deterministic finite automaton (NFA)). Οι γλώσσες που αναγνωρίζονται από τα πεπερασμένα αυτόματα λέγονται κανονικές γλώσσες (regular languages). Οι γλώσσες αυτές είναι κατάλληλες για να περιγράψουν τις λεκτικές μονάδες ενός προγράμματος.
Ένα πεπερασμένο αυτόματο μπορεί να παρασταθεί ως: